电子光学无尘净化车间建设

电子光学，简称光电，英文名称为 electron optics ，是研究电子在电磁场中运动和电子束在电磁场中聚焦、成像、偏转等规律的学科。目前我们比较常见的半导体、液晶制造、光学制造、线路板制造、芯片制造都是电子光学的市场化运用。

以我们熟悉的芯片制造为例，因为技术不断创新，以及产品迭代，对芯片的生产工艺的高精密度的要求也越来越高。因此，对光学微电子的生产环境，即光学电子无尘车间的要求也随之提升了。

电子光学无尘车间方案

在方案设计中，切不可一概而论，应加强对光学微电子行业无尘车间的特点做具体分析。根据具体生产产品，是新建还是旧厂房改造升级、结合具体生产工艺等，具体确定特定生产环境下所需要的温湿度、洁净度，考虑当地的气候条件，综合考虑建造成本，设计一个满足使用需求、工程造价合理、节能环保的使用方案。

电子光学无尘车间净化流程

气流——初效净化——中央空调——中效净化——风机送风——管道——高效净化风口——吹入房间——带走尘埃细菌——回风百叶窗——初效净化。重复上面流程，即可达到净化目的。其实各行业的无尘车间在净化流程上大同小异，电子光学无尘车间也类似，只是在具体实施中需要细分处理。

电子光学无尘车间考虑重点

电子光学工厂普遍使用集成电路，大部分晶体管不耐受高压，容易被击穿。再者，电子光学工厂的器件具有体积小，密集度高等特点，静电不仅会导致破损报废，还会吸附灰尘，导致出现次品，静电会生产热，让元件受损，静电电磁场幅度很大，很容易造成电磁干扰，静电吸灰，绝缘电阻受损，缩短使用时间。电子光学无尘车间设计时，对防静电要求一定要做好提前预判，一般湿度设置在45%—65%，在这个范围内，根据具体环境要求，略微提高，以免产生静电。

电子光学无尘车间净化参数

换气次数：十万级≥15次，万级≥20次，千级≥30次；

压差：主车间对相邻房间≥5帕；

平均风速：0.3—0.5米每秒；

温度：冬季＞16℃，夏季＜26℃，波动范围±2℃；

噪声：≤65db(A)；照度：300LX

新风：新风补充量以总风量的10%—30%为宜，新风补充还应以车间内的工作人数来计算，可以根据以下数值取最大值：非单向流无尘车间总送风量的10%—30%，补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量，保证室内每人每小时的新鲜空气量≥40m/h。此外，为了保持无尘车间内的洁净度及湿度平衡，需要较大的送风量，以1000㎡为例，吊顶的高度为2.5米，如果是万级，送风量就需要1000×2.5×30=75000m/h的送风量，换气次数为≥25次/h；如果是十万级，送风量就需要1000×2.5×20=50000m/h的送风量，换气次数为≥15次/h。

常用设备方案

A 组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口，

B 水冷柜机+增压风柜+高效送风口，

C 分体空调柜机+FFU送风口。

总体来说这三套组合方式各有优缺点，需根据成本造价、使用年限、温湿度管控、洁净度等要求合理选择组合方式。

电子光学行业发展日新月异，对电子光学无尘车间建造的技术要求也会随着生产方式的变化进行不断改进和变化。无尘车间的目的，在于为电子光学产品的生产提供一个稳定可靠的环境，是我们从业人士需要坚持研究的方向。