(1)初效过滤器:去除大于5μm的尘粒。
(2)中效过滤器:进一步过滤大于0.5μm的尘粒。
(3)高效过滤器(hepa):对0.3微米以上的颗粒进行过滤。
(4)风机组:将处理后的空气送到室内各房间,使室内保持正压状态。
(5)风淋室(货淋室)或传递窗:(根据需要选择)防止灰尘扩散到车间外。
(6)空调机组和送风口;

(7)回风管道;

(8)消声器等辅助设备;

(9)自控系统包括温度控制湿度控制压力表和指示灯以及其它控制装置如照明灯等。

(10)洁净工作台;

(11)生物安全柜;

(12)缓冲间或传递窗;

(13)臭氧发生器或紫外线消毒机;

(14)排风机组;

(15)静压箱等设备.